Pokročilá 3D metrologie v chemii pro inovativní technologie
(14IND01, 3DMetChemIT, Advanced 3D chemical metrology for innovative technologies)
Požadavky ze strany spotřebitelů na „rychlejší“, „chytřejší“ a „levnější“ výrobky jsou hnací silou inovací v průmyslu s vysokou přidanou hodnotou. K dosažení tohoto cíle průmysl stále více používá 3D architektury, 3D tisku a rychle rozšiřuje základnu materiálů. Toto platí stejnou měrou pro zařízení, která pracují na bázi organických materiálů, jako jsou inteligentní optické vrstvy a pokročilé povlaky, tak i pro anorganická nanovrstvená 3D zařízení s vysokou hustotou (jako například FinFETs). V mnoha technologiích, např. pro senzory či polovodiče, způsobuje rozhraní mezi organickými a anorganickými materiály závažné problémy v měření. To vytváří naléhavou potřebu zásadního zlepšení schopností měřit chemické složení a vlastnosti rozhraní s 3D prostorovým rozlišením.