Nová elektronická zařízení založená na detekci deformace v nanoměřítku
Novel electronic devices based on control of strain at the nanoscale (IND54 - Nanostrain)
Projekt se zabývá otázkami měření deformace v nanoměřítku pomocí různých technik, zejména s využitím rtg. analýzy a různých mikroskopických technik. Tato měření jsou velmi důležitá zejména při konstrukci mikro- a nanoeletromechanických zařízení (MEMS, NEMS). Na projektu se podílí PTB, NPL, ČMI, MIKES a LNE. ČMI se v projektu zaměřuje na otázku měření velmi malých změn morfologie povrchu pomocí metody digitální korelace obrazu, zejména při využití techniky rastrovací sondové mikroskopie a optické profilometrie, dále pak numerickým modelováním.